切割用精密空氣主軸
高精密切割用空氣主軸(英國ABL公司產(chǎn)品)DS060E
本公司是受CBBC(英中貿(mào)易協(xié)會)調(diào)查,認證,并得到英國ABL公司授權(quán)的中國大陸地區(qū)的空氣主軸產(chǎn)品的總代理。本產(chǎn)品是英國ABL公司為半導體行業(yè)的硅片及石英等硬脆材料的切割而設(shè)計的高精密,高轉(zhuǎn)速的空氣主軸產(chǎn)品(軸承潤滑劑為空氣,即非接觸式潤滑)。
一,主要特點
(1)可以根據(jù)客戶的具體要求進行設(shè)計;
(2)采用特殊的馬達設(shè)計,使本主軸具有體積小,高鋼性,高負荷的特點。
(3)各種主軸的固定方式可供選擇,使其可以做為各類新老設(shè)備的主軸使用。
(4)高精密,低振動運轉(zhuǎn),低能耗。
(5)根據(jù)客戶要求量身定做配套的切割刀架。
最高轉(zhuǎn)速 | 60,000 RPM | 徑向鋼性(Radial Stiffness)* | 13 N/um |
---|---|---|---|
馬達功率 | 1.8 kW | 徑向負荷(Radial Load Capacity)* | 140 N |
空氣壓力 | 5.5-6.0 kgf/cm2 | 軸向鋼性(Axial Stiffness) | 10 N/um |
空氣流動率 | 60-65 Nl/min | 軸向負荷(Axial Load Capacity) | 150 N |
冷卻 | 水冷 | 軸偏(Dynamic Run Out) | <1 um |
冷卻水流量 | 2 l/min | 標準刀片尺寸 | 40 mm |
冷卻水進水溫度 | 15-19 °C | 重量 | 5.5 kg |
*由刀片位置的統(tǒng)計結(jié)果
KEYWORDS:空氣潤滑, 硅片切割, 石英切割, 玻璃切割, 藍寶石切割, 高精密切割, 劃片, 劃片機主軸, 空氣主軸, 藍寶石劃片, 硅片劃片, 石英劃片, 玻璃劃片, 晶圓劃片, 晶圓切割, DISCO, 東京精密, laodpoint, 流星, 日立, 空氣軸承, 超精密空氣主軸, 超高速空氣主軸, 進口主軸, 氣浮主軸,