CMP RETAINER RING
我司自行生產(chǎn)制造CMP RETAINER RING CMP保持環(huán)，半導(dǎo)體生產(chǎn)用化學(xué)機(jī)械研磨法用保持環(huán)
愛銳精密科技大連有限公司加工銷售半導(dǎo)體用高精密CMP RETAINER RING，CMP保持環(huán)備件產(chǎn)品，可提供美國應(yīng)用材料（AMAT），日本荏原（EBARA），SPEEDFAM， NOVELLUS，東京精密ACCRETEH等主要半導(dǎo)體設(shè)備商的及各小廠的6英寸，8英寸，12英寸的CMP RETAINER RING的反向設(shè)計及生產(chǎn)，精密高，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，世界各大廠商采用業(yè)績非富。
產(chǎn)品介紹：
AMAT設(shè)備為代理的樹脂與金屬結(jié)合型CMP RETAINER RING結(jié)構(gòu) |
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主要構(gòu)成： ?PPS樹脂部分 與原廠保持一致，根據(jù)客戶需要提供材質(zhì)。 其它材質(zhì)PEEK樹脂，PET樹脂等也有使用，請 咨詢。
?金屬部分采用不銹鋼材料 |
EBARA設(shè)備為代表為全樹脂型CMP RETAINER RING結(jié)構(gòu) |
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主要結(jié)構(gòu)： ?全PPS樹脂結(jié)構(gòu)，同樣采用以下三家廠商材料， 與原廠保持一致。 其它材質(zhì)PEEK樹脂，PET樹脂等也有使用，請 咨詢。 |
特殊鎢制程用PEEK材質(zhì)CMP RETAINER RING結(jié)構(gòu) |
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主要構(gòu)成： ?樹脂部分采用PEEK+40%炭素材料， 硬度與耐磨性較PPS要好，消耗亦減少。
?金屬部分采用不銹鋼材料。 |
產(chǎn)品主要特點(diǎn)：
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提供樹脂表面的鏡面拋光研磨： 此項服務(wù)可以讓最終用戶的DUMMY研磨時間降低，同時降低相關(guān)耗材的消耗，節(jié)約客戶成本，提供客戶生產(chǎn)效率。 上圖為表面鏡表研磨后采用特殊光學(xué)干涉檢查裝置，檢查拋光后的樹脂表面粗糙度照片，鏡表粗糙度（Mirror Surface roughness, ）控制在Ra 0.588~0.881 (μm) |
提供背部的金屬或樹脂的平行度研磨： 產(chǎn)品的上下表面的平行度會影響被研磨晶圓的精準(zhǔn)度及晶圓加工過程中的各部位的研磨率，為保證被加工晶圓的精密度，出貨前做背部的平行研磨，車削產(chǎn)品件的精度平行度在50μm,背部平行研磨后的產(chǎn)品件的平行精度會隆到15μm，大大提高了被加工體的精密。 |
可以提供的相關(guān)規(guī)格
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200MM AMAT設(shè)備用 PPS與不銹鋼接合型 CMP RETAINER RING |
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200MM AMAT設(shè)備用 全PPS樹脂無溝槽型 CMP RETAINER RING |
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200MM AMAT設(shè)備用 PEEK+40%炭素材料 與不銹鋼接合有溝槽型 CMP RETAINER RING |
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200MM AMAT設(shè)備用 PEEK+40%炭素材料 與不銹鋼接合無溝槽型 CMP RETAINER RING |
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150MM 全PEEK+40%炭素材料 CMP RETAINER RING |
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200MM 全PEEK樹脂 CMP RETAINER RING |
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200MM 全PET材質(zhì)研磨用 CMP RETAINER RING |
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150MM 全PET材質(zhì)研磨用 CMP RETAINER RING |
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200MM 全PET-ETX 材質(zhì)研磨用 CMP RETAINER RING |
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200MM 全PBT材質(zhì)研磨用 CMP RETAINER RING |
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200MM NOVELLUS EXTENSION RING AURIGA SERIES 有溝槽系列 |
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200MM NOVELLUS EXTENSION RING AURIGA SERIES 無溝槽系列 |
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200MM NOVELLUS AURIGA GUIDE RING
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150MM NOVELLUS AURIGA GUIDE RING |
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300MM EBERA G3 全樹脂系列附密封橡膠 CMP RETAINER RING |
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200MM EBARA 全樹脂系列 CMP RETAINER RING |
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200MM EBARA 全樹脂系列 CMP RETAINER RING |
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150MM PETER WOLTER GUIDE RING |
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300MM AMAT設(shè)備用 PPS與不銹鋼接合型 CMP RETAINER RING |
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300MM EBARA G2 全樹脂系列 CMP RETAINER RING |
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300MM EBARA G2S 全樹脂系列 CMP RETAINER RING |
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300MM EBARA PEEK+40%炭素 CMP RETAINER RING |
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300MM AMAT MEMBRANE DIAPHRAGM |  |
200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM |
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200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM | 可以加工的設(shè)備商名： | AMAT(MIRRA, REFREXTION)， EBARA，NOVELLUS， ACCRETECH， SPEEDFAM， PETER WOLTER |
加工料號舉例（以下料號以外有大量生產(chǎn)實績）
300mm C-3812-378-0001
300mm C-3812-431-0001
200mm C-3812-393-0001
AMAT 300mm PPS + SUS 0040-62020
- AMAT 300mm Full PPS 0040-88203
- AMAT 200mm PEEK+40%C (no glove) 0040-33583
- AMAT 200mm PEEK+40%C 0040-51156
0040-94632
- AMAT 200mm Titan Head N 0040-79583
- AMAT 200mm Titan Head HE 0040-80952
- AMAT 200mm AEP 0040-77243
- AMAT 200mm AEP2 0040-78263
