愛銳精密科技（大連）有限公司提供進(jìn)口小型接確式對準(zhǔn)曝光機(jī) MASK ALIGNER

對準(zhǔn)曝光機(jī)- MaskAligner

■特點(diǎn)?

■手動操作、接觸式對準(zhǔn)曝光機(jī)。?
■依照不同需求以及成本考量有準(zhǔn)直儀型多面鏡型整合(積算器)型三種曝光光源。
■有可對應(yīng)5×5mm～100×100mm以及Φ1 inch～?6 inch的基板的各類機(jī)種。?
■Mask Holder載臺的更換作業(yè)簡單易行，可在１分鐘內(nèi)完成，適合用于研究開發(fā)。?
■對準(zhǔn)顯微鏡的對物鏡可對應(yīng)高對準(zhǔn)精度或厚膜等用途，并且有4×、10×、20×三種。

■共通規(guī)格

MA系列 半自動型，用于IC少量生產(chǎn)，MEMS等用途

MA-10 低成本，標(biāo)準(zhǔn)型

規(guī)格 基板尺寸 MAXΦ4 inch Mask尺寸 MAX 5×5 inch UV燈箱 準(zhǔn)直儀型 照度 ?>8mW/cm2 照度均一性 <±8.5% 硬性接觸 有 對準(zhǔn)點(diǎn)間隔測長功能 不可裝配 ?計(jì)光量計(jì) 不可裝配 防震臺 選配 外形尺寸(mm) ?700W×570H×650D

具體需求請向我司咨詢。

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